- 如果您對該產(chǎn)品感興趣的話，可以
- 產(chǎn)品名稱：立式8吋快速退火爐
- 產(chǎn)品型號：YY8H---快速退火爐
- 產(chǎn)品展商：燕園科技
- 產(chǎn)品文檔：無相關(guān)文檔
簡單介紹
YY8H-3-08系列自立式8吋快速退火爐采用紅外輻射加熱技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)大尺寸樣品(8英寸)快速升溫和降溫，可用于快速熱處理(RTP)、快速熱退火(RTA)、快速熱氧化(RTO)、快速熱氮化(RTN)及金屬合金化等半導(dǎo)體工藝。
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品特點(diǎn)：
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可測大尺寸樣品：可測單晶片樣品的尺寸為1-8英寸。
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壓力控制系統(tǒng)研發(fā)設(shè)計(jì)：高精度控制壓力，以滿足不同的工藝要求。
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存儲(chǔ)熱處理工藝：方便工藝參數(shù)調(diào)取，提高實(shí)驗(yàn)效率，數(shù)據(jù)可查詢。
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快速升溫：極限升溫速率可達(dá)150℃/s。
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程序設(shè)定與氣路擴(kuò)展：可實(shí)現(xiàn)不同溫度段的控制，進(jìn)行降溫段的自動(dòng)轉(zhuǎn)接，并能夠?qū)に嚥藛芜M(jìn)行保存，方便調(diào)用。采用MFC及時(shí)控制氣體流量，至多可支持6路氣體，實(shí)現(xiàn)不同氣氛環(huán)境（真空、惰性氣氛、氧氣、氫氣、混合氣等）下的熱處理。
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全自動(dòng)智能控制：采用全自動(dòng)智能控制，包括溫度、時(shí)間、氣體流量、真空、冷卻水等均可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。
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超高防護(hù)系數(shù)：采用爐門本身溫度開啟保護(hù)、溫控器開啟權(quán)限保護(hù)以及設(shè)備急停保護(hù)三重防護(hù)措施，全方位保障設(shè)備使用無誤。
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分區(qū)控溫：分區(qū)域控制加熱功率，提高溫度均勻性。
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國產(chǎn)退火爐：擁有自主研發(fā)技術(shù)和制造能力，能快速反應(yīng)客戶售后需求。